锐云威科技交付光刻机硅片台控制系统与磁浮减振控制器

半导体装备国产化的浪潮中，运动控制始终是绕不开的核心命题。光刻机对硅片台的控制精度、稳定速度与振动抑制能力要求极高，长期由进口产品主导。2023 年，锐云威科技带着聚焦高性能运动控制与精密驱控的定位正式成立，从第一套电子束光刻控制系统起步，一步步走向批量交付。

从首套系统到批量订单

2023 年 12 月，锐云威科技完成电子束光刻控制系统的首次交付。这套系统打通了公司从控制器设计、算法调试到整机联调的完整链路，也让团队对光刻工艺场景下的运动控制要求有了第一手理解。

随后的 2024 年，公司迎来批量订单。订单量级的跃升意味着交付体系必须同步升级，从单台定制走向标准化生产与规模化测试，锐云威在这一阶段完成了测试规范与质量流程的沉淀。

技术难点与攻坚

硅片台控制系统对动态精度与重复定位能力提出苛刻要求，而磁浮减振控制器则要在宽频段内抑制外部扰动，两者互为补充，共同保障光刻过程中的纳米级稳定性。

团队围绕多轴联动控制、振动主动抑制等环节持续打磨，将控制算法与硬件平台反复迭代验证，逐步建立起面向光刻装备的核心技术栈。

批量交付，团队并肩成长

2025 年 12 月，锐云威科技完成光刻机硅片台控制系统与磁浮减振控制器的交付，标志着公司从单点突破走向批量供货能力。伴随业务扩张，团队规模已达 42 人，覆盖控制算法、结构、软件与测试各条线。

展望

站在批量交付的起点上，锐云威科技将继续聚焦半导体等精密装备领域的高性能运动控制，以更稳定、更可靠的驱控产品服务国产装备供应链。