01
多轴精密运动控制系统
面向光刻机运动台、量检测装备的纳米级实时控制，覆盖 VME/VPX 总线控制卡、实时仿真与高速数采。
- 微秒级控制周期
- VME / VPX 总线架构
- RCP+HIL 实时仿真验证
01Core Capabilities
三大核心技术方向
从压电材料、器件到运动控制系统，光机电全链条自主研发能力
02
压电陶瓷与器件
自建流延与一体共烧工艺，提供压电陶瓷方片/圆片、压电叠堆与双晶片，实现航天应用陶瓷国产化。
- 一体共烧工艺
- 12mm 厚度叠堆试验通过
- 对标国际先进工艺
03
压电执行器与微动台
压电快反镜、尺蠖电机、二维/多轴微动台，微弧度至纳米级定位，适配光通信指向与先进键合微动。
- 微弧度级快反镜
- 纳米级分辨率微动台
- 压电尺蠖电机大行程驱动
04News
新闻资讯
公司动态与前沿技术进展
