压电陶瓷电机与微动台3 次浏览
PM53.2系列 XY二维铰链台
产品概述： ·采用柔性铰链导向 ·极高的抗侧向偏移能力 ·0.02%的线性误差与纳米级分辨率 ·多轴组合
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01Product Detail
商品详情
产品概述
·采用柔性铰链导向
·极高的抗侧向偏移能力
·0.02%的线性误差与纳米级分辨率
·多轴组合
| 主要参数 | PM53.21 | PM53.22 | PM53.25 | PM53.28 | PM53.29 | 公差 | 单位 |
| 标称行程 | 100 | 250 | 500 | 800 | 1500 | ±15% | μm |
| 最大行程 | 120 | 300 | 600 | 950 | 1800 | ±15% | μm |
| 闭环传感 | SGS/电容 | SGS/电容 | SGS/电容 | SGS/电容 | SGS/电容 | / | / |
| 分辨率 | 0.1 | 0.2 | 0.4 | 0.5 | 0.5 | / | nm |
| 线性度 | 0.02% | 0.02% | 0.03% | 0.05% | 0.08% | / | / |
| 重复性 | 土2 | 土2 | 土5 | 土10 | 土15 | / | nm |
| 推力/拉力 | 10/8 | 10/8 | 10/8 | 10/8 | 10/8 | ±15% | N |
| 最大负载 | 15 | 15 | 15 | 15 | 15 | ±15% | N |
| 电容 | 1.5 | 3 | 6 | 20 | 55 | ±15% | μF |
| 谐振频率空载 | 420 | 230 | 140 | 75 | 50 | ±15% | Hz |
| 谐振频率50g负载 | 280 | 180 | 120 | 60 | 45 | ±15% | Hz |
| 质量 | 300 | 350 | 430 | 700 | 1300 | ±5% | g |
| 材料 | 不锈钢，铝合金 | / | / | ||||
| 工作温度 | -20~80 | / | ℃ | ||||
| 线长 | 1.5 | ±5% | m | ||||
| 接口 | D-sub 15/LEMO | / | / | ||||