压电陶瓷电机与微动台3 次浏览
PM54.11型 压电物镜台
压电物镜台致力于为高端光学系统提供高性价比的Z向对焦解决方案，其主要特点包括： ·纳米级驱动采用直驱压电陶瓷，实现平滑、连续的纳米级步进运动。 ·柔性铰链导向柔性铰链设计保证极高的导向精度和抗侧向偏移能力，无摩擦且免维护。 ·高频动态响应具备极高的系统谐振频率，支持在双光子、共聚焦显微镜等设备中进行快速切片扫描。 ·闭环精准控制搭配高精度闭环传感器，有效消除压电陶瓷的迟滞和蠕变效应。
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01Product Detail
商品详情
产品概述
· 高负载物镜扫面台
· 精密柔性铰链，超低寄生位移
· 更快的响应时间
· 集成位置闭环
| 主要参数 | PM54.11 | 公差 | 单位 |
| Z向闭环行程 | 100 | ±15% | μm |
| Z向最大行程 | 120 | ±15% | μm |
| 闭环传感器 | SGS/电容 | / | / |
| 分辨率 | 0.35 | / | nm |
| 线性度 | 0.1%/0.05% | / | / |
| 重复性 | 10 | / | nm |
| Z向位置噪声 | 0.5 | / | nm |
| θx角度串扰 | ±10 | ±10% | μrad |
| θy角度串扰 | ±10 | ±10% | μrad |
| 推力/拉力 | 100/50 | ±15% | N |
| 电容 | 1000 | ±15% | μF |
| 谐振频率空载 | 6 | ±15% | Hz |
| 谐振频率200g | 550 | ±15% | Hz |
| 质量 | 550 | ±15% | g |
| 机械接口 | M32内螺纹 | / | mm |
| 线长 | 1.5 | ±5% | m |
| 接口 | D-sub 15/D-sub 7W2 | / | / |
| 材料 | 不锈钢，铝合金 | / | / |
| 工作温度 | -20~80 | / | °C |