压电陶瓷电机与微动台3 次浏览
PM54.01型 压电物镜台
压电物镜台致力于为高端光学系统提供高性价比的Z向对焦解决方案，其主要特点包括： ·纳米级驱动采用直驱压电陶瓷，实现平滑、连续的纳米级步进运动。 ·柔性铰链导向柔性铰链设计保证极高的导向精度和抗侧向偏移能力，无摩擦且免维护。 ·高频动态响应具备极高的系统谐振频率，支持在双光子、共聚焦显微镜等设备中进行快速切片扫描。 ·闭环精准控制搭配高精度闭环传感器，有效消除压电陶瓷的迟滞和蠕变效应。
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01Product Detail
商品详情
产品概述
· 长行程物镜扫面台，可达800μm
· 亚纳米级分辨率
· 电容闭环，线性度优于0.05%
| 主要参数 | PM54.01 | PM54.04 | PM54.08 | 公差 | 单位 |
| Z向闭环行程 | 100 | 400 | 800 | ±15% | μm |
| Z向最大行程 | 120 | 420 | 840 | ±15% | μm |
| 闭环传感器 | SGS/电容 | SGS/电容 | SGS/电容 | / | / |
| 分辨率 | 1 | 4 | 8 | / | nm |
| 线性度 | 0.1%/0.05% | 0.2%/0.05% | 0.3%/0.05% | / | / |
| 重复性 | 10 | 20 | 40 | / | nm |
| Z向位置噪声 | 0.2 | 0.5 | 1 | / | nm |
| θx角度串扰 | 10 | 25 | 50 | ±10% | μrad |
| θy角度串扰 | 10 | 25 | 50 | ±10% | μrad |
| 推力/拉力 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | ±15% | N |
| 电容 | 3 | 6.4 | 12.5 | ±15% | μF |
| 谐振频率空载 | 650 | 400 | 230 | ±15% | Hz |
| 谐振频率150g | 290 | 175 | 100 | ±15% | Hz |
| 质量 | 280 | 280 | 350 | ±15% | g |
| 物镜直径 | 39 | / | mm | ||
| 线长 | 1.5 | ±15% | m | ||
| 接口 | D-sub 15/D-sub 7W2 | / | / | ||
| 材料 | 不锈钢 | / | / | ||
| 工作温度 | -20~80 | / | °C | ||