SEC720A 控制系统开发平台

产品概述

SEC-720A控制系统开发平台，是一款高性能的控制计算系统。系统提供丰富的位移传感器信号采集、激光干涉仪数据采集、模拟量采集与输出、数字量输入输出、高速通信、控制运算功能。

产品优势

支持多通道激光干涉仪(VME总线)采集，可兼容KeysightN1225A、Zygo 4104C等主流干涉仪。

提供软件开发包，可根据客户应用场景开发干涉仪解耦模型与算法。

高速光纤接口以及高速LVDS总线，实现更快的数据采集、更低的数据延迟。

集成PSC功控传感板，支持多路ABZ、BiSSC、Endat、ADC等位移传感器信号采集，以及多路DAC功率驱动控制。

应用场景

本系统已在纳米级运动控制系统(步进光刻、电子束检测)中应用，可广泛用于投影式步进扫描光刻、电子束光刻、电子束检测、纳米压印等场合。

锐云威科技提供可集成干涉仪模块的VME控制系统、干涉仪数据采集软件、解耦算法与开发环境。