
压电驱控与电源1 次浏览
RE-400 ESC高压差分放大器
技术指标: 支持485、数字IO、模拟量三种通讯输出控制 输出电压范围:0~±400V 输出电流:10mA 可用于EChuck静电卡盘驱动、测试
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技术指标
支持485、数字IO、模拟量三种通讯输出控制
输出电压范围:0~±400V
输出电流:10mA
可用于EChuck静电卡盘驱动、测试
