压电陶瓷电机与微动台3 次浏览
PM52.1系列 位移放大器
产品概述： 可输出500µm位移甚至更高 集成应变片或电容传感器闭环
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01Product Detail
商品详情
产品概述
可输出500um位移甚至更高
集成应变片或电容传感器闭环
| 主要参数 | PM52.11S | PM52.13S | PM52.15S | 公差 | 单位 |
| 标称行程 | 100 | 300 | 500 | 15% | μm |
| 最大行程 | 120 | 330 | 600 | 15% | μm |
| 闭环传感器 | SGS | SGS | SGS | / | / |
| 分辨率 | 0.01 | 0.015 | 0.02 | / | μm |
| 线性度 | 0.1 | 0.15 | 0.3 | / | / |
| 重复性 | 10 | 20 | 25 | / | nm |
| 推力/拉力 | 40/20 | 35/15 | 30/10 | ±15% | N |
| 电容 | 1.5 | 3 | 3.5 | ±15% | μF |
| 谐振频率 | 900 | 400 | 300 | ±15% | Hz |
| 质量 | 40 | 50 | 60 | ±15% | g |
| 材料 | 不锈钢，铝合金 | 不锈钢，铝合金 | 不锈钢，铝合金 | / | / |
| 工作温度 | -20~80 | -20~80 | -20~80 | / | ℃ |
| 接口 | LEMO | LEMO | LEMO | / | / |