RM-S 压电陶瓷片系列
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RM-S 压电陶瓷片系列

压电陶瓷片利用压电效应实现电能和机械能相互转换,在电场作用下发生形变,产生位移;单片位移可达3μm,也可以将多片陶瓷单片机械串联成叠堆使用;叠堆高度的增加可获得更大的位移行程。

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01Product Detail

商品详情

产品特点

·微秒级响应

·亚纳米分辨率

·交流寿命10^9次

·适用于高真空环境10^-6 Pa

·驱动电压-20~+150V

·尺寸:方形/圆形/通孔

应用场景

可应用于精密定位/加工等场景:

晶圆定位加工

扫描探针显微镜

点胶阀