
压电陶瓷电机与微动台3 次浏览
PM81.2系列 压电快反镜
压电快反镜是一种专为光束精密控制、对准与稳定而设计的高频角位移偏转装置。与擅长长行程移动的传动机构不同,它将动态响应速度与微弧度级的旋转精度发挥到了极致。作为现代高精密光学系统的核心执行元件,压电快反镜能够通过实时调整镜片角度,精确制导光束走向,从而有效抵消外界环境带来的高频振动与干扰。 其工作原理依靠典型的直驱与机械放大机制,柔性铰链作为镜片的支撑与回转中心,利用金属材料的微量弹性变形来实现无摩擦、无间隙的轴向运动,从根本上避免了传统机械轴承的死区和磨损。通过在镜片下方正交布置的压电陶瓷进行推挽式直驱,控制不同方向上的伸缩量,镜片便能在二维空间内实现高频的角度偏转。
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01Product Detail
商品详情
产品概述
· 二维偏转,可定制更高偏角
· 更高的谐振频率与更快的响应
· 集成闭环,线性度0.1%以内
· 工业级/宇航级,闭环运动寿命超100亿次
· 高低温、加速度冲击、热真空试验
| 主要参数 | PM81.22 | PM81.24 | PM81.26 | 公差 | 单位 |
| 标称行程θx | 3 | 5 | 8 | min. | mrad |
| 标称行程θy | 3 | 5 | 8 | min. | mrad |
| 最大行程θx | 4.2 | 7 | 10 | ±10% | mrad |
| 最大行程θy | 4.2 | 7 | 10 | ±10% | mrad |
| 闭环传感器 | SGS | SGS | SGS | / | / |
| 分辨率 | 0.02 | 0.05 | 0.1 | / | μrad |
| 线性度 | 0.1% | 0.15% | 0.2% | / | / |
| 重复性 | 0.3 | 0.6 | 1 | / | μrad |
| θx电容 | 3 | 6 | 9 | ±15% | μF |
| θy电容 | 3 | 6 | 9 | ±15% | μF |
| 谐振频率θx | 10 | 4 | 2 | ±15% | kHz |
| 谐振频率θy | 10 | 4 | 2 | ±15% | kHz |
| 质量 | 120 | 250 | 360 | ±15% | g |
| 线长 | 1.5 | ±15% | m | ||
| 接口 | D-sub 15/LEMO | / | / | ||
| 材料 | 不锈钢,殷钢,钛合金,铝合金 | / | / | ||
| 工作温度 | -20~80 | / | °C | ||
