PM81.1系列 压电快反镜
压电陶瓷电机与微动台3 次浏览

PM81.1系列 压电快反镜

压电快反镜是一种专为光束精密控制、对准与稳定而设计的高频角位移偏转装置。与擅长长行程移动的传动机构不同,它将动态响应速度与微弧度级的旋转精度发挥到了极致。作为现代高精密光学系统的核心执行元件,压电快反镜能够通过实时调整镜片角度,精确制导光束走向,从而有效抵消外界环境带来的高频振动与干扰。 其工作原理依靠典型的直驱与机械放大机制,柔性铰链作为镜片的支撑与回转中心,利用金属材料的微量弹性变形来实现无摩擦、无间隙的轴向运动,从根本上避免了传统机械轴承的死区和磨损。通过在镜片下方正交布置的压电陶瓷进行推挽式直驱,控制不同方向上的伸缩量,镜片便能在二维空间内实现高频的角度偏转。

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01Product Detail

商品详情

产品概述

· 二维偏转,可定制偏角10mrad

· 快速响应与优异的位置稳定性

· 集成闭环,线性度0.1%

· 工业级/宇航级,闭环运动寿命超100亿次

· 高低温、加速度冲击、热真空试验


主要参数 PM81.11 PM81.13 PM81.15 公差 单位
标称行程θx 2.5 5 7.5 min. mrad
标称行程θy 2.5 5 7.5 min. mrad
最大行程θx 3 6 8.5 ±10% mrad
最大行程θy 3 6 8.5 ±10% mrad
闭环传感器 SGS SGS SGS / /
分辨率 0.02 0.05 0.1 / μrad
线性度 0.1% 0.1% 0.15% / /
重复性 0.3 0.6 1 / μrad
θx电容 1 2 3 ±15% μF
θy电容 1 2 3 ±15% μF
谐振频率θx 3.5 3 2.7 ±15% kHz
谐振频率θy 3.5 3 2.7 ±15% kHz
质量 250 330 400 ±5% g
线长 1.5 ±5% m
接口 D-sub 15/LEMO / /
材料 不锈钢,殷钢,钛合金 / /
工作温度 -20~80 / °C