压电陶瓷电机与微动台7 次浏览
PM62系列 压电Z/ZTT台
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01Product Detail
商品详情
产品概述
·ZTT三轴微动台
·1000μm长行程
·40mrad大转角
| 主要参数 | PM62.04 | PM62.05 | 公差 | 单位 | ||
| 运动轴 | Z | Z | θx | θy | / | / |
| 行程 | 1050 | 1050 | 40mrad | 40mrad | max. | μm |
| 闭环传感器 | SGS | SGS | SGS | SGS | / | / |
| 开环分辨率 | 0.5 | 0.5 | 20μrad | 20μrad | / | μm |
| 线性度 | 0.25% | 0.25% | 0.50% | 0.50% | / | / |
| 重复性 | 1 | 1 | 4 | 4 | / | μm/μrad |
| 推力/拉力 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | 100/20 | ±15% | N |
| 单轴电容 | 12.5 | 12.5 | 12.5 | 12.5 | ±15% | μF |
| 谐振频率 | 900 | 700 | 700 | 700 | ±15% | Hz |
| 质量 | 1000 | 1000 | 1000 | 1000 | ±5% | g |
| 材料 | 不锈钢，铝合金 | / | / | |||
| 工作温度 | -20~80 | / | ℃ | |||