压电陶瓷电机与微动台3 次浏览
PM63.01系列 二维载物台
我司专业从事压电陶瓷、压电运动台及压电驱控的开发与生产，以服务客户为宗旨，为客户提供微纳米级精密运动定制化解决方案。
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01Product Detail
商品详情
尺寸简图
· 纳米级位移分辨率
· 高刚性导轨导向
· 重载XY运动台
· 显微镜载物调节
| 主要参数 | PM63.01 | 公差 | 单位 |
| X向闭环行程 | 40 | max. | mm |
| Y向最大行程 | 40 | max. | mm |
| 闭环传感器 | 集成光栅尺 | / | / |
| X方向分辨率 | 20 | / | mm/s |
| Y方向分辨率 | 20 | / | mm/s |
| X方向定位精度 | 100 | / | nm |
| Y方向定位精度 | 100 | / | nm |
| X方向重复性定位精度 | 40 | / | nm |
| Y方向重复性定位精度 | 40 | / | nm |
| X方向俯仰角 | 25 | ±10% | arc sec |
| X方向偏摆角 | 25 | arc sec | |
| Y方向俯仰角 | 25 | ±10% | arc sec |
| Y方向偏摆角 | 25 | arc sec | |
| 负载 | 50 | ±15% | kg |
| 驱动电压 | ±250 | / | V |
| 质量 | 1600 | ±5% | g |
| 线长 | 1.5 | ±5% | m |
| 接口 | D-sub 15高密型,LEMO | / | / |
| 材料 | 不锈钢，铝合金，钛合金 | / | / |
| 工作温度 | -20~80 | / | ℃ |